等離子發(fā)生器是由大量帶電粒子組成的非凝聚系統(tǒng)，等離子體是指在宏觀上呈電中性的電離態(tài)氣體，是電子、離子、自由基和各種活性基團等粒子組成的集合體。其中正電荷總數(shù)和負電荷總數(shù)在數(shù)值上相等，故稱為等離子體。此等離子體定義既強調(diào)了等離子體微觀上的電離屬性，又強調(diào)了等離子體宏觀上的電中性。
等離子發(fā)生器按照不同的標準可分成不同種類：
1、按存在方式分類可分為天然等離子體與人工等離子體。宇宙中99%以上的物質(zhì)是以等離子體狀態(tài)存在的，稱為天然等離子體。如恒星星系、星云，地球附近的閃電、極光、電離層等。人工等離子體如日光燈、霓虹燈中的放電等離子體，等離子體炬中的電弧放電等離子體，氣體激光器及各種氣體放電中的電離氣體。
2、按電離度分類可分為*電離等離子體(α=1)和強電離等離子體(1>α>0.01）以及弱電離等離子體（α<0.01）。
3、按粒子密度分類可分為致密等離子體（粒子密度n為10^5~18cm-3）和稀薄等離子體（粒子密度n為10^12~14cm-3）。
4、按熱力學平衡分類可分為*熱力學平衡等離子體、局部熱力學平衡等離子體和非熱力學平衡等離子體。*熱力學平衡等離子體（高溫等離子體)，體系中電子溫度T。和離子溫度T以及氣體溫度T*一致，如太陽內(nèi)部和核聚變。局部熱力學平衡等離子體（熱等離子體），因等離子體中各物種溫度一般很難達到*的熱力學一致性，當其電子溫度、離子溫度和氣體溫度局部達到熱力學一致性，即Te=Tg=3×10^6～3×10^8K時，稱其為局部熱力學平衡等離子體，如高頻等離子體、電弧等離子體等。非熱力學平衡等離子體（冷等離子體或低溫等離子體)，等離子體內(nèi)部的電子溫度高達上萬開爾文，而離子溫度和氣體溫度接近室溫，即Te>Ti≈=Tg，從而形成了熱力學上的非平衡性。
